【時(shí)訊科普】激光干涉儀原理

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激光干涉儀的原理是基于干涉原理。激光干涉儀將從單個(gè)激光光源發(fā)出的光分成兩個(gè)光路。

這些分開的光路之一稱為“參考光路”，另一個(gè)稱為“測(cè)量光路”。

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當(dāng)被參考光路和測(cè)量光路分開的光重新組合時(shí)，就會(huì)發(fā)生光干涉。通過(guò)檢測(cè)干涉引起的亮度變化，可以測(cè)量光路長(zhǎng)度和形狀的微小變化。

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具體而言，當(dāng)光發(fā)生干涉時(shí)，亮度會(huì)根據(jù)波的相位差而變化。如果相位差為0，

則干涉完美匹配，亮度最大。相反，如果相位差移動(dòng)半個(gè)波長(zhǎng)（180 度），干涉就會(huì)抵消，亮度就會(huì)最小化。

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當(dāng)其中一個(gè)測(cè)量光路的長(zhǎng)度變化時(shí)，與參考光路產(chǎn)生相位差，通過(guò)檢測(cè)該相位差，

可以高精度地測(cè)量測(cè)量目標(biāo)的形狀和移動(dòng)量。

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