【光源科普】如何選擇紫外光源
?【光源科普】如何選擇紫外光源
為了制造高質(zhì)量的產(chǎn)品,
需要選擇最佳的紫外光源和紫外照射設(shè)備來(lái)對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光。
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輻照均勻度和功率
曝光光刻膠時(shí),選擇能夠提供最均勻光線的紫外光源非常重要。如果光的均勻性差,
則在形成光對(duì)準(zhǔn)圖案時(shí)會(huì)出現(xiàn)不均勻?!?/div>
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另外,關(guān)于光輸出,需要選擇高輸出的紫外光源。如果產(chǎn)量高,處理速度會(huì)較快,
但如果產(chǎn)量低,處理時(shí)間會(huì)較長(zhǎng),這會(huì)極大地影響最終的吞吐量(生產(chǎn)數(shù)量)。
另一方面,如果輸出太高,可能會(huì)出現(xiàn)光刻膠起泡等問(wèn)題。
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因此,在選擇紫外光源時(shí),需要選擇波長(zhǎng)適合光刻膠的光源、能夠照射均勻光線的光源以及能夠調(diào)節(jié)到最佳輸出的光源。
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能源效率和成本
能源效率必須從兩個(gè)角度考慮:運(yùn)行成本和環(huán)境影響。
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有效的紫外線源極大地有助于降低能耗和運(yùn)行成本。
此外,考慮到成本時(shí),有必要考慮紫外線光源的初始安裝成本和運(yùn)行成本。
盡管高性能光源的初始安裝成本往往較高,但考慮到長(zhǎng)期運(yùn)營(yíng)成本,它可能是經(jīng)濟(jì)的。
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選擇UV光源時(shí),重要的是要考慮能耗、
運(yùn)行成本、維護(hù)成本等,綜合做出決定。
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易于維護(hù)
如果需要頻繁維護(hù)或維修需要時(shí)間,生產(chǎn)線就會(huì)停止,造成很大的機(jī)會(huì)損失。
雖然初始安裝成本有點(diǎn)高,但引入幾乎不需要維護(hù)的紫外光源最終可以帶來(lái)巨大的效益。
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